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当前主流太阳电池——钝化发射极背面接触(Passivated emitter and rear contact,PERC)太阳能电池的量产效率已达23％,但接近理论上限.以隧穿氧化钝化(Tunnel oxide passivated contact,TOPCon)、异质结(Hetero Junction Technology,HJT)太阳能电池为代表的高效太阳电池因其效率高,必将取代PERC电池成为市场主流.然而,当前高效电池核心装备大部分仍是进口,因其价格昂贵,直接阻碍了我国新一代光伏技术发展.为了解决这个问题,国内装备厂商做了大量工作,已提出针对不同工艺的成套装备解决方案.本文分析了两种高效太阳电池的特点及工艺,针对工艺核心环节的需求,介绍了两种电池工艺核心装备的国产化进展,并指出相关装备的未来发展趋势.