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本文在YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜表面原位沉积了一层30～50(?)厚的CaF_2保护层。实验证明:CaF_2层保护后的超导薄膜,经光刻和化学刻蚀后,临界温度T_c下降量不超过1.0K,且对水、CO_2、丙酮具有很好的防护作用。通过X射线光电子谱、X射线衍射谱,我们还研究了CaF_2保护层对YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜表面及其结构的影响。