力平衡MEMS加速度计的系统级建模与仿真

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ancdtang
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用两种不同方法完成力平衡加速度计的系统级仿真.系统级模型参数在已完成的硅基力平衡MEMS加速度计结构上提取,数学模型和仿真分别采用VHDL—AMS和SIMULINK TM来实现.对仿真结果进行比较,两者之间有细微的差别.利用VHDL-AMS进行仿真更灵活、准确,模型可重复再用,但是过程中要消耗更多时间.而使用SIMULINK可以方便、快捷地建立模型.
其他文献
采用EBSD研究了不同线宽和退火前后Cu互连线的织构和晶界特征分布.Cu互连线均具有多重织构,其中(111)织构强度最高.沉积态样品在室温下发生了自退火现象,并出现了一些异常长大
通过对喀什地区维吾尔族中学生心理健康状况调查,了解他们的心理健康状况,采取有针对性的干预措施,为促进维吾尔族中学生的健康成长提供理论依据。
种田离不开农民,现代农业的发展更需要高素质的农民从事农业及其相关产业的工作。但是当前我国现代农业的发展遭遇到了两难的困境:一方面是农村高素质的人才在流失,基层新型农业
<正>1病例介绍患者男,60岁,因突发腹痛、腹泻5d于2014-02-04来我院就诊,查大便常规:褐色稀水便,红细胞++,白细胞少许,潜血阳性,考虑急性胃肠炎,予抗感染及补液治疗症状无缓解
物品的丰裕、攀比的欲望以及大众媒体的塑造,强化了青年人在当前消费选择上的欲望实现,弱化了延迟消费的自我控制力。事实上,过度消费会给全社会带来风险。消除过度消费的负
本文结合通用造价应用实践,总结分析了架空线路通用造价(2010年版)应用的局限性和架空线路通用造价(2014年版)的创新性,通过动态化滚动修订通用造价,进一步提升了通用造价工
国防教育是全民国防教育的基础.加强普通高校国防教育及提高其教育质量尤为重要。但目前在普通高校开展国防教育的过程中,却暴露出课程体系建设存在认识上的误区、机构不健全、
张春银执著的精神和富有感召力的创业故事打动了风险投资家们。在2010年,由科技部、农业部、教育部、中国银监会、中国证监会等部门联合举办的首届中国农业科技创新创业大赛中