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本文提出了设计高斯场光学膜系的方法、电子枪真空反应溅射工艺和反射率实时监控技术.利用所提出的设计方法、工艺和监控技术,在面积为0.2×2μm~2的半导体激光器(LD)芯片有源层解理面上,设计制备了剩余反射率低至5×10~(-4)的减反膜,从而获得性能优越的行波半导体激光放大器.
半导体激光放大器高效减反膜
【摘 要】
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本文提出了设计高斯场光学膜系的方法、电子枪真空反应溅射工艺和反射率实时监控技术.利用所提出的设计方法、工艺和监控技术,在面积为0.2×2μm~2的半导体激光器(LD)芯
【机 构】
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华中理工大学光学工程系,华中理工大学光学工程系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1991年5期
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