论文部分内容阅读
介绍了集成电路制造中的用水，讨论了节水在该行业中的重要性。详细分析了用水的特征和可能实现的节水手段和方法，特别阐述了如何对生产过程中使用的超纯水进行节流回收和再利用有价值的废水，为实现环保节能的集成电路制造企业提供了现实可行的操作依据。
节水技术在半导体制造企业的应用
【摘 要】
：
介绍了集成电路制造中的用水，讨论了节水在该行业中的重要性。详细分析了用水的特征和可能实现的节水手段和方法，特别阐述了如何对生产过程中使用的超纯水进行节流回收和再利用
【机 构】
：
上海交通大学环境科学和工程学院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2006年9期
其他文献
近些年来,我国国库财政收支所涉及的项目越来越多,国库财政管理难度越来越大,所以极大地促进了财政国库改革的进程.而国库集中支付制度对国家资金的有效管理和提高政府部门的
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
介绍了励磁系统采用的PID+PSS2A控制中隔直、惯性以及超前滞后等环节的辨识方法。测试使用频谱仪扫描经过被测环节的白噪声信号的频谱变化,去除A/D-D/A环节影响后,对比得到的
[目的]对青海省海东市6个区县的生态脆弱性进行定量研究,为缓解高寒贫困山区贫困状态、提高生态环境保护意识提供参考,为国家深入实施精准扶贫工作提供依据。[方法]选择经济
十堰市地处鄂西北部,汉水中上游,素有“南船北马、川陕咽喉、四省通衢”之美誉。自建市以来,政府始终秉持“城郊土地以菜为主,城郊农民以菜为业,城郊政府以菜为责”的思想,大
随着海洋工程事业的迅速发展,自升式钻井平台国产化生产成为大势所趋。本文重点研究了在压力机上整体压制钻井平台桩腿半圆板的工艺方法。通过对压制工装模具的结构设计优化
采用"3414"方案设计试验,研究不同氮磷钾配比施肥对长优2号水稻产量及经济性状的影响。结果表明,氮、磷、钾肥对长优2号都有一定的增产效应,其中以氮肥的增产效应最为显著,磷
纵观人类历史发展,每一次大的产业革命都发端于科技创新,而成就于金融创新。如今,新一轮科技创新与金融创新正在加速融合,以迅猛的力量推动新兴产业全面崛起。科技与金融结合