金属辅助湿法化学刻蚀黑硅机理的探讨

来源 :云南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhen3071

【摘要】

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为了理解金属辅助湿法化学刻蚀的机理,单晶硅片分别在氢氟酸/过氧化氢/氯金酸（HF/H2O2/HAuCl4）体系、氢氟酸/硝酸/硝酸银（HF/HNO3/AgNO3）体系、氢氟酸/过氧化氢/硝酸铜（HF/H2O2/Cu

【作者】

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廖承菌杨培志廖华李学铭

【机构】

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可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室,云南师范大学太阳能研究所,不详

【出处】

：

云南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2013年5期

【关键词】

：

黑硅增强广谱吸收金字塔绒面

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为了理解金属辅助湿法化学刻蚀的机理,单晶硅片分别在氢氟酸/过氧化氢/氯金酸（HF/H2O2/HAuCl4）体系、氢氟酸/硝酸/硝酸银（HF/HNO3/AgNO3）体系、氢氟酸/过氧化氢/硝酸铜（HF/H2O2/Cu（NO3）2）体系中被刻蚀,经过三种体系刻蚀的单晶硅样品的减重量与减薄量之比值分别约为1.622、0.960、0.560.利用电动模型分析认为：差异性刻蚀的发生主要取决于电子的得失和电荷的传输两个方面.

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