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金属钯薄膜作为一种新型的稀贵金属低维材料，因为其优异的物理和化学性能，在耐高温涂层、微电子、膜反应器、催化等领域有着非常重要的应用。钯薄膜优异的性能及广阔的应用前景引起人们广泛的关注。介绍了金属有机化学气相沉积（MOCVD）法制备钯膜用前驱体的研究进展以及MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点，概述了其目前研究的热点和进一步研究的方向。