【摘 要】
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中国科学院光电技术研究所创新研发的URE-2000型系列单、双面紫外光刻机、大面积紫外光刻机、纳米压印光刻机、DZ-2000Ⅰ型无掩模数字光刻机及TYG2000/T型台式投影光刻机,以
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中国科学院光电技术研究所创新研发的URE-2000型系列单、双面紫外光刻机、大面积紫外光刻机、纳米压印光刻机、DZ-2000Ⅰ型无掩模数字光刻机及TYG2000/T型台式投影光刻机,以其突出的功能、可靠的品质、领先的技术和优质的服务,在国内外微细加工光学技术领域受到广泛好评。
Institute of Optoelectronics Technology, Chinese Academy of Sciences URE-2000 series of innovative research and development of single and double-sided UV lithography machine, a large area of UV lithography, nanoimprint lithography, DZ-2000 Ⅰ maskless digital lithography and TYG2000 / T-type desktop projection lithography machine, with its outstanding features, reliable quality, advanced technology and excellent service, in the field of micro-processing at home and abroad are widely acclaimed optical technology.
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