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我校于2009年对本科生和研究生的培养方案和课程标准进行了重新修订,以此为契机,我校的微机电系统与纳米技术系列课程体系与内容也进行了重新规划与建设,本文对此作了简单的总结、回顾与思考。在对比分析并借鉴参考国内外名校相关领域对本系列课程设置的基础上,介绍了我校新的微机电系统与纳米技术系列课程的体系建设、内容建设、课程实验及条件建设。