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采用适当的器件工艺和特制2mm厚无附加镀层光学玻璃滤光片，使所研制的绿光Si光电探测器的最大量子效率口达到91％，光响应信噪比（SNR）大于1×10^4。对该Si光电探测器在零偏下的光电流温度特性进行了测量，并对结果做了较深入的理论分析。
高性能硅光电探测器设计及温度特性研究
【摘 要】
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采用适当的器件工艺和特制2mm厚无附加镀层光学玻璃滤光片，使所研制的绿光Si光电探测器的最大量子效率口达到91％，光响应信噪比（SNR）大于1×10^4。对该Si光电探测器在零偏下的
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院,天津第五半导体器件厂
【出 处】
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光电子.激光
【发表日期】
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2007年1期
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