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2×8元列阵高温超导探测器研制

来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lihonggeng

【摘 要】

：

选用高Tc超导薄膜YBa2Cu3O7－8，引用半导体集成工艺，制出2×8元列阵红外探测器，其探测率D均达到108～109cm·Hz·W－1，工作温度为89K。 The high Tc superconducting thin film YBa2Cu

【作 者】

：

刘心田 石保安 陆惠秀 刘兴海 

【机 构】

：

中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学

【出 处】

：

激光与红外

【发表日期】

：

1997年06期

【关键词】

：

红外探测器 超导器件 超导探测器 探测率 敏感元 超导薄膜 噪声等效功率 YBCO 半导体集成 工作温度 

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选用高Tc超导薄膜YBa2Cu3O7－8，引用半导体集成工艺，制出2×8元列阵红外探测器，其探测率D均达到108～109cm·Hz·W－1，工作温度为89K。 The high Tc superconducting thin film YBa2Cu3O7-8 was selected and the semiconductor integrated technology was used to make a 2 × 8 array infrared detector. The detection rate D reached 108-109cm · Hz · W-1 and the working temperature was 89K.

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