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在声表面波器件的探测中,对于某些膜厚较厚,线条陡直度较好的品种,由于声信号在相邻芯片间指条的反射作用,使得其在不同位置的芯片探测结果出现差异,影响了对合格与否的判断,称为边缘效应.该文就这种边缘效应进行讨论和实验,提出用分离反射信号的方法进行修正,同时对该修正方法对测试结果的影响进行了讨论.
SAW器件晶片在线探测中的边缘效应
【摘 要】
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在声表面波器件的探测中,对于某些膜厚较厚,线条陡直度较好的品种,由于声信号在相邻芯片间指条的反射作用,使得其在不同位置的芯片探测结果出现差异,影响了对合格与否的判断,
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2004年3期
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