TiO2微图纹结构的制作

来源 :化学物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iamc66m
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用软刻蚀技术中具有代表性的方法——微模塑法和转移微模塑法,在普通光学玻璃表面成功制备出TiO2微阵列结构.首先,以钛酸四丁酯为前驱物,通过溶胶一凝胶法合成出TiO2溶胶,然后用表面带有微图纹的有机硅橡胶PDMS作为弹性印章分别对所制得的TiO2溶胶进行微模塑及转移微模塑加工,在70℃下溶胶凝胶,进而让凝胶材料在550℃下焙烧2h得到TiO2微结构.用光学显微镜对所得到的微结构进行了显微观察,显微照片显示,微模塑法和转移微模塑法在制备材料微结构方面复制精细度和重复率都比较令人满意.同时,还初步探讨了影响最终
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