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提出用磁控溅射在弹性元件的表面生成TiN薄膜的方法，阐述了二元线性插值法智能补偿的原理和效果，实现了响应快和精度高的要求。
磁控溅射TiN膜并智能化处理的液位传感器研究
【摘 要】
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提出用磁控溅射在弹性元件的表面生成TiN薄膜的方法，阐述了二元线性插值法智能补偿的原理和效果，实现了响应快和精度高的要求。
【机 构】
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中国科学院等离子体研究所
【出 处】
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仪表技术
【发表日期】
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2002年1期
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