【摘 要】
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综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和(Ti,Al)N膜的结构、硬度、耐磨性、抗高温氧化、结合强度等性能,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。
The mechanism of Al element in (T
【机 构】
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兰州交通大学机电学院材料工程研究所,兰州铁路局 甘肃兰州730070,甘肃兰州730000
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综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和(Ti,Al)N膜的结构、硬度、耐磨性、抗高温氧化、结合强度等性能,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。
The mechanism of Al element in (Ti, Al) N film and the structure, hardness, wear resistance, high temperature oxidation resistance and bonding strength of (Ti, Al) Membrane development.
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