【摘 要】
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叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照
【机 构】
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叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照明光能分布不均匀性小于±２ ％ 。
The principle of UV (i line) uniform illumination optical system and simulation calculation of light energy distribution are described. An example is given to design and simulate a large-field uniform illumination optical system with the developed simulation software OPTENG. The illumination energy distribution inhomogeneity is less than ± 2% when the illumination area is 100m m × 100m m.
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