Composition change and capacitance properties of ruthenium oxide thin film

来源 :中南大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong549

【摘要】

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Ru O2·n H2O film was deposited on tantalum foils by electrodeposition and heat treatment using Ru Cl3·3H2O as precursor.Surface morphology, compositio

【作者】

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刘泓甘卫平刘仲武郑峰

【机构】

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SchoolofMaterialsScienceandEngineering,SchoolofMaterialsScienceandEngineering

【出处】

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中南大学学报：英文版

【发表日期】

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2015年1期

【关键词】

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氧化物薄膜电容特性组成变化傅立叶变换红外光谱仪扫描电子显微镜 RUO2 X射线衍射仪电化学分析仪 ruthenium oxide thin film

【基金项目】

：

Project（S2013040015492）supported by the Natural Science Foundation of Guangdong Province,China, Project（2007AA03Z240）supported by Hi-tech Research and Development Program of China

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Ru O2·n H2O film was deposited on tantalum foils by electrodeposition and heat treatment using Ru Cl3·3H2O as precursor.Surface morphology, composition change and cyclic voltammetry from precursor to amorphous and crystalline RuO2·n H2O fil

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