金刚石薄膜/立方氮化硼异质结的制备

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bblp520a
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利用高温高压合成的立方氮化硼单晶材料,采用恒浓度高温扩散方法制备n型立方氮化硼半导体材料。通过化学气相沉积方法在n型立方氮化硼上外延生长p型金刚石薄膜。在基础上,通过欧姆接触电极的制作,制备出金刚石薄膜/立方氮化硼异质pn结,并给出pn结的伏安特性曲线。
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