基于TRIZ的高纯电子级溴化氢防腐纯化装置的创新设计

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溴化氢气体对装置的强腐蚀性难题一直制约着国内外企业的产业化发展,目前适用于该装置的设备材料选型、结构设计与特殊加工技术的改进手段相对有限。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、剪裁等工具,提出了一系列的创新性设计方案。对设备材质进行了科学设计、简化了工艺系统、实现了多功能性,既提高了设备的耐腐蚀性,又节省了企业投资成本。本工作可以对强腐蚀性气体为背景的分离产业化提供科学的解决方案。
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