【摘 要】
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利用等离子体增强化学气相沉积技术,在AH32钢表面制备不同硅含量的渗硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,以改善AH32钢的疏水性和耐蚀性。利用扫描电镜和原子力显微镜,对不同硅含量下制
【基金项目】
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辽宁省自然科学基金(20180510001),辽宁科技大学校人才计划(2018RC03),辽宁省教育厅项目(SKLMEA-USTLN(201909)),辽宁科技大学大学生创新创业训练计划(201910146154)
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利用等离子体增强化学气相沉积技术,在AH32钢表面制备不同硅含量的渗硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,以改善AH32钢的疏水性和耐蚀性。利用扫描电镜和原子力显微镜,对不同硅含量下制备的Si-DLC薄膜的表面形貌进行表征;利用表面粗糙度仪,对薄膜和基体表面粗糙度进行表征;利用微量进样器,对薄膜和基体与水的静态接触角和表面自由能进行测量。利用拉曼光谱,对薄膜和基体成分和结构进行表征;同时利用电化学工作站,对薄膜开路电位、阻抗和极化曲线进行了检测,并探讨了硅含量对DLC薄膜疏水和耐腐蚀性能的影响规律和作用机制。研
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