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超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。
纳米定位技术的发展现状
【摘 要】
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超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2007年11期
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