【摘 要】
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根据市场调研公司 Information Network 的预测,IC 内联铜处理的前端生产工具市场2002年略有增长增幅超过27%,2003年增幅达到84%。铜制程工具在2001年整体前端工具市场的份
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根据市场调研公司 Information Network 的预测,IC 内联铜处理的前端生产工具市场2002年略有增长增幅超过27%,2003年增幅达到84%。铜制程工具在2001年整体前端工具市场的份额为10%,2002年增至14%。2002年增长最快的是蚀刻工具领域,紧随其后的铜阻碍层/种晶层(barrier/Seed),沉积工具。
According to market research firm Information Network, the IC in-line copper processing front-end tool market grew slightly more than 27% in 2002 and 84% in 2003. Copper Process Tools accounted for 10% of the overall front-end tool market in 2001, up from 14% in 2002. The fastest growth in 2002 was in the area of etching tools, followed by copper barrier / barrier and deposition tools.
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