【摘 要】
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在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究
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在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义.本文以美国Delta Tau Data Systems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型（径向直线运动型）硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制.
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