【摘 要】
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采用氟铝酸钠沉淀法去除失效磷酸基化学抛光液中的铝杂质，并对溶液再生利用的工艺条件进行了研究。实验结果表明，在氢氧化钠和氢氟酸加入量与理论值的比均为1．2（即n（氢氧化钠）：n（Al^3
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采用氟铝酸钠沉淀法去除失效磷酸基化学抛光液中的铝杂质，并对溶液再生利用的工艺条件进行了研究。实验结果表明，在氢氧化钠和氢氟酸加入量与理论值的比均为1．2（即n（氢氧化钠）：n（Al^3＋）=2：1、n（氢氟酸）：n（Al^3＋）=28：5）的条件下，采用二步法过滤后，抛光液中磷酸质量分数大于50％，磷酸回收率为79．5％，Al^3＋去除率为97．1％，剩余Al^3＋质量分数为0．05％。滤渣经处理后成为新的有价物质，滤液在补加磷酸和其他有效成分后可再生循环使用。
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