改进型的四氟乙烯衬里精馏釜

来源 :上海有色金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong580
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硅单晶在半导体材料中占有极其重要的位置,而多晶硅的质量又是单品硅质量的基础,多晶硅质量的好坏又取决于化学提纯。精馏塔乃是化学提纯方法必不可少的物质条件之一。要获得高纯度的三氯氢硅,必须选择材料优质和高效的精馏塔。当前,聚四氟乙烯 Silicon single crystal occupies an extremely important position in the semiconductor material, and the quality of polysilicon is the basis of a single product quality of silicon, polysilicon quality depends on the quality of chemical purification. Rectification column is one of the essential material conditions for chemical purification. To obtain high purity trichlorosilane, you must choose the material of high quality and efficient distillation column. Currently, Teflon
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