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采用反应等离子喷涂技术制备了TiN涂层,并收集了少量TiN颗粒;采用SEM对涂层和TiN颗粒的横断面彤貌进行分析,研究了喷涂过程中的反应过程和涂层的形成过程。结果表明:Ti粉与N2的反应为燃烧合成反应,反应过程中释放出大量的热量,此反应在颗粒的表面进行;TiN涂层具有典型的层状组织结构,且层与层之间结合较好。