【摘 要】
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纯度≥4 N的高纯钛是集成电路制造所用钛靶材的关键原料，半导体器件不断减小的特征尺寸，不仅对高纯钛的纯度提出了更高的要求，还要求高纯钛必须有极低的氧含量。然而，钛极高的化学活性和吸氧能力限制了高纯低氧钛的稳定、低成本生产。目前，针对钛的这一独特性质，人们往往联合使用多种提纯方法进行高纯钛的工业化生产，并对各种提纯方法中可能引入杂质的种类及途径进行了深入的研究，以期最大程度地去除钛中的各种杂质，实现
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纯度≥4 N的高纯钛是集成电路制造所用钛靶材的关键原料，半导体器件不断减小的特征尺寸，不仅对高纯钛的纯度提出了更高的要求，还要求高纯钛必须有极低的氧含量。然而，钛极高的化学活性和吸氧能力限制了高纯低氧钛的稳定、低成本生产。目前，针对钛的这一独特性质，人们往往联合使用多种提纯方法进行高纯钛的工业化生产，并对各种提纯方法中可能引入杂质的种类及途径进行了深入的研究，以期最大程度地去除钛中的各种杂质，实现高纯低氧钛的规模化稳定生产。本文对高纯钛工业化生产所涉及的主要方法——Kroll（克罗尔）法、熔盐电解法、碘化法和电子束熔炼法，以及这些方法中涉及到的重要钛卤化物的制备、提纯方法进行了综述，最后对这些主要生产方法进行了分析对比，指出了碘化法在高纯低氧钛工业化生产上的优势和亟待解决的问题。
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