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采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明：研制的感压元件性能良好，非线性误差低于1．0％，迟滞误差小于0．5％，测试电容和参考电容温度系数近乎一致。
新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究
【摘 要】
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采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年6期
【基金项目】
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安徽省“十五”科技攻关计划资助项目(040120503)
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