【摘 要】
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针对微电子机械系统（MEMS）行业对3D加工日益增长的需求，提出了一种结合法拉第笼和倾斜衬底支架，利用改进的BOSCH工艺进行任意角度深硅刻蚀的创新工艺方案。首先通过仿真计算对法拉第笼的特征尺寸进行了优化，进一步采用法拉第笼和用于制备倾角的衬底支架，对BOSCH工艺参数进行了调整，最终获得了倾角为30°、深度超过25μm、深宽比高达7.9∶1的倾斜沟槽。结果表明利用法拉第笼和倾斜衬底支架，采用深硅
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
【基金项目】
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中国科学院科研仪器设备研制项目（YJKYYQ20200002）；
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针对微电子机械系统（MEMS）行业对3D加工日益增长的需求，提出了一种结合法拉第笼和倾斜衬底支架，利用改进的BOSCH工艺进行任意角度深硅刻蚀的创新工艺方案。首先通过仿真计算对法拉第笼的特征尺寸进行了优化，进一步采用法拉第笼和用于制备倾角的衬底支架，对BOSCH工艺参数进行了调整，最终获得了倾角为30°、深度超过25μm、深宽比高达7.9∶1的倾斜沟槽。结果表明利用法拉第笼和倾斜衬底支架，采用深硅刻蚀工艺可以制备高深宽比的倾斜沟槽，而且沟槽角度可以通过加工不同倾角的支架实现。结合法拉第笼和倾斜衬底支架进行等离子体刻蚀可为其他倾斜结构的制备工艺提供参考。
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