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本文将主要讨论锗薄膜表层PIN光电探测器的设计。包括过渡层在内的锗薄膜层,设备能够很好的接收硅波导信号并且在重掺杂p＋/n＋区域的表层结构下能够达到较高的灵敏度。通过缩短p＋/n＋距离,探测器在-5V加压下,频宽可以达到22GHz。
硅基锗表层集成型PIN光电探测器的设计
【摘 要】
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本文将主要讨论锗薄膜表层PIN光电探测器的设计。包括过渡层在内的锗薄膜层,设备能够很好的接收硅波导信号并且在重掺杂p＋/n＋区域的表层结构下能够达到较高的灵敏度。通过缩短p
【机 构】
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长春理工大学计算机科学技术学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2013年3期
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