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通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息，以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取．在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态，并使其自由端与存储介质进行周期性的接触．当悬臂梁的自由端扫描到数据点时，其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化，进而引起PZT压电层的介电常数发生变化．因此，通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化，便可以得到悬臂梁的振幅改变量，从而实现了对存储介质上数据的读取．实验结果表明，该可以实现1nm的位移检测分辨率．