【摘 要】
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根据偏振光反射原理和多角度测量的多点拟合算法，研究了薄膜材料的厚度、实际测量中的噪声、特殊入射角三个因素对薄膜参数测量精度的影响。对SiO2薄膜样品进行数值模拟分析，结果表明，薄膜厚度大于150 nm时的反演误差较小，50 nm以下的薄膜反演误差较大；噪声越小测量精度越高；SiO2薄膜存在特殊的入射角，该角选为初始入射角将出现较大误差甚至错误，测量时应避开。若初始入射角的选取偏离特殊角±2°，即可消除特殊点所带来的影响。
【机 构】
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华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术实验室，广东广州510006
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根据偏振光反射原理和多角度测量的多点拟合算法，研究了薄膜材料的厚度、实际测量中的噪声、特殊入射角三个因素对薄膜参数测量精度的影响。对SiO2薄膜样品进行数值模拟分析，结果表明，薄膜厚度大于150 nm时的反演误差较小，50 nm以下的薄膜反演误差较大；噪声越小测量精度越高；SiO2薄膜存在特殊的入射角，该角选为初始入射角将出现较大误差甚至错误，测量时应避开。若初始入射角的选取偏离特殊角±2°，即可消除特殊点所带来的影响。
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