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详细论述了掠入射非共轴反射成像的KB和KBA显微镜成像系统,根据使用要求设计了由4个反射镜组成的X射线显微镜.这是一种消像散系统,且使像面倾斜明显降低,在2 mm视场的范围内,分辨率可以达到5～7 μm.对研制过程中遇到的难题进行了分析.
非共轴掠入射X射线显微镜的设计与分析
【摘 要】
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详细论述了掠入射非共轴反射成像的KB和KBA显微镜成像系统,根据使用要求设计了由4个反射镜组成的X射线显微镜.这是一种消像散系统,且使像面倾斜明显降低,在2 mm视场的范围内,
【机 构】
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大连理工大学电子与信息工程学院
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2005年5期
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