【摘 要】
：
采用等离子体粒了模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为.在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰
【机 构】
：
四川大学原子核科学技术研究所,贵州大学PSI研究所MEMS课题组,荷兰皇家科学院等离子体所
论文部分内容阅读
采用等离子体粒了模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为.在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程.由模拟结果可知,射频极板附近鞘层区域在极短时间内形成,其厚度随着时间的增加而增厚;而射频极板处的粒子通量随着时间的增加逐渐减小.经过一段时间后,射频极板处平均粒子通量、平均电流以及鞘层平均厚度逐渐趋于平衡.在鞘层区域电流主要由位移电流构成,在等离子体区域电流主要由传导电流贡献.最后讨论了达到平衡态后等离子体密度、电势、电场强度和能量的空间分布情况.
其他文献
目的 探讨超声造影在浅表淋巴结鉴别诊断中的应用价值.方法 对94例患者的94个浅表肿大淋巴结进行二维、彩色多普勒超声和超声造影检查,观察其灌注特征,用Philips Q-LAB软件分
目的 探讨葛根素联合糖皮质激素治疗Vogt-小柳 - 原田病的临床疗效.方法 将32例(64只眼)诊断为Vogt-小柳 - 原田病的患者随机分为两组,对照组17例(34只眼),单纯应用糖皮质激
中职学校的计算机教育应该以培养专业技能为主要目标.实践能力是人才所应具备的最基本也是很重要的能力.本文首先简单地说明了专业和课程设置在中职学校计算机教学中的纲领性
本文针对中职学校女生的生理、心理特点,通过组织教学内容,改变教学方法,发挥师生互动作用等几方面,对怎样提高中专女生体育兴趣和积极性进行了粗浅的探索.采用形式多样的教
口腔技术专业主要学习的是口腔修复学后台技术,即固定义齿修复工艺技术、可摘局部义齿修复工艺技术和全口义齿修复工艺技术.现阶段高职院校大多将这样的专业学习分两部分进行
普通门锁的功能单一,防盗效果不佳,并且普通门锁在关门时产生的噪声容易影响其他人休息.针对上述技术之不足,设计了一种具有关门噪声消除功能及门锁声波监测报警功能的新型多
现代科学技术迅猛发展,计算机网络的应用得到普及,计算机应用技术已经深深植入了教育领域,人们开始重视计算机技术在教学中的应用作用.计算机应用技术成为现代教学中的重要组
目的:了解上海市闵行区流动人口宫内节育器(IUD)的使用情况及影响因素.方法:采用结构式问卷进行调查.结果:本次共调查2 001名流动人口,其中采用避孕措施的1 300人,使用最多的
目的 观察脓毒症患者T细胞亚群变化,探讨其在脓毒症发生发展中的临床意义.方法 以脓毒症患者74例(年龄27～92岁)和非脓毒症患者30例(年龄32～83岁)为研究对象,采用流式细胞仪FACS
Dot-blot hybridization was applied in this paper to detect five viruses infecting cucurbitaceous crops,Zuccini yellow mosaic virus(ZYMV),Watermelon mosaic virus