【摘 要】
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本文首先对低温共烧陶瓷（Low Temperature Co-fired Ceramic，LTCC）生瓷通孔填充质量的影响因素进行了分析，并对不同的填孔方式进行了探讨，然后基于VM12001注射式通孔填充机开发了无掩模填孔技术。实验结果表明，新的填孔方法能够获得良好的填孔质量，在填孔能力和工艺灵活性上优于利用掩模的注浆式填孔。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十九研究所
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本文首先对低温共烧陶瓷（Low Temperature Co-fired Ceramic，LTCC）生瓷通孔填充质量的影响因素进行了分析，并对不同的填孔方式进行了探讨，然后基于VM12001注射式通孔填充机开发了无掩模填孔技术。实验结果表明，新的填孔方法能够获得良好的填孔质量，在填孔能力和工艺灵活性上优于利用掩模的注浆式填孔。
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