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本文研究了用直流气体放电活化的反应蒸发制备的二化锡纳米薄膜的表面性质、电学性质以及气敏性质，重点研究正反向电场对其电学性质和气敏性质的影响，从理论上探讨了它的气敏机理。
电场对二氧化锡纳米薄膜电性质和气敏性质的影响
【摘 要】
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本文研究了用直流气体放电活化的反应蒸发制备的二化锡纳米薄膜的表面性质、电学性质以及气敏性质，重点研究正反向电场对其电学性质和气敏性质的影响，从理论上探讨了它的气敏机
【机 构】
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华东理工大学物理系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1995年3期
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