高沉积率低动能气流溅射系统

来源 :太阳能 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robinjwj
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在薄膜溅射沉积中,用具有能量的离子或中性粒子轰击薄膜对薄膜结构有重大影响,这些影响由于沉积条件的不同变化非常大,特别是质点轰击能量,沉积技术如离子团束(ICB)沉积、偏置溅射及离子束沉积已被用于控制粒子的流量和能量.一般说来,从100 eV到几千eV的质点能量用于离子加速技术易于控制,而低能量质点很难严格控制.
其他文献
期刊
期刊
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
目的 分析非冠心病疾患误诊为冠心痛的原因,减少误诊率.方法 入选病程早期以"心绞痛"样症状为首发表现的13例非冠心病患者,后经相关医技检查,方明确诊断.结果 确诊为胃食管反流病5例,胆心综合征4例,X综合征2例,自发性气胸1例,扩张型心肌病1例.明确诊断后按原发病治疗,至出院时所有病例"心绞痛"样症状均消失,且绝大部分患者心电图恢复正常.结论 非冠心痛疾患亦可导致"心绞痛"样症状,心外因素有时也可
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊
目的:研讨宫颈环形电切术(LEEP)治疗宫颈上皮内瘤样病变(CIN)的临床价值。方法:收集2006-01/2008-12的经细胞学、阴道镜下多点活检CIN 374例行LEEP治疗。结果:有效率93.3%,手
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊