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半导体硅片制备技术及产业现状
半导体硅片制备技术及产业现状
来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luye063006300630
【摘 要】
:
介绍半导体硅片制备技术及理论,分析目前全球硅片的产业概况、产业历史发展趋势及特点;结合我国目前的实际情况,论述国内大力发展硅片产业面临的机遇、挑战及存在的问题。
【作 者】
:
闫志瑞
库黎明
白杜娟
陈海滨
王永涛
【机 构】
:
有研半导体材料有限公司
【出 处】
:
金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
半导体
硅片
产业现状
技术
机遇
挑战
semiconductorsilicon waferindustry statustechniqueopportuni
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介绍半导体硅片制备技术及理论,分析目前全球硅片的产业概况、产业历史发展趋势及特点;结合我国目前的实际情况,论述国内大力发展硅片产业面临的机遇、挑战及存在的问题。
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