半导体硅片制备技术及产业现状

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luye063006300630
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介绍半导体硅片制备技术及理论,分析目前全球硅片的产业概况、产业历史发展趋势及特点;结合我国目前的实际情况,论述国内大力发展硅片产业面临的机遇、挑战及存在的问题。
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