大型准无油真空除气炉的设计研究

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【摘要】

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基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。 Based on the successful experience gained

【作者】

：

陈志东

【机构】

：

兰州真空设备有限责任公司甘肃　兰州　730050

【出处】

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真空

【发表日期】

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2003年02期

【关键词】

：

不锈钢真空除气准无油油扩散泵

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基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。 Based on the successful experience gained in the development of high vacuum degassing furnace, the quasi-oil-free vacuum environment and the problems to be noticed in the design of the oil diffusion pump system were studied.

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