【摘 要】
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以硅为基体的超大规模集成电路(VLSI)的出现,是我们时代重大的技术事件之一.这一技术是在以前的科学知识基础上发展起来的,这里物理学起了主要作用. 目前全世界VSLI研究的大
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以硅为基体的超大规模集成电路(VLSI)的出现,是我们时代重大的技术事件之一.这一技术是在以前的科学知识基础上发展起来的,这里物理学起了主要作用. 目前全世界VSLI研究的大多数课题是使硅能继续发展,少数课题是寻找新材料或改变硅工艺.由于对材料、工艺以及它们在VSLI制作和使
The advent of silicon-based VLSIs is one of the major technical events of our time, developed on the basis of previous scientific knowledge, where physics has played a major role. Most of the world’s VSLI research topics are to make silicon continue to develop, a few topics are to find new materials or change the silicon process.Because of the materials, processes and their production and use in the VSLI
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