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材料在加工中由于夹渣、孔洞、缝隙等原因会造成材料内部的非均匀性，在机械或热载荷下内部的缺陷将通过变形表现在外表面，即使这种变形量十分微小，数量级小于0．1μm，一般测量仪器无法测出，但对于精密微电子器件（MEMS）、精密机械等，这种缺陷是致命的。针对上述问题设计了一套专门检测材料在热载荷、机械载荷或两者耦合情况下变形的系统，并应用该系统对金属材料（LY12）表面裂纹在热载荷场下的变形进行了测量，得到了裂纹扩展的变形矢量图。该系统为一套集显微观测、数字图像处理、加载及照明等关键技术为一体的非接触、全场测量，