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MgB2超导薄膜制备方法对比研究

来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dongwujunye

【摘 要】

：

文章结合MgB2超导薄膜在电子器件中的应用,简介了混合物理化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法、分子束外延法和电子束蒸发法等MgB2超导薄膜制备方法和研究进展,并对

【作 者】

：

高建龙 周建中 张莉 

【机 构】

：

兰州理工大学理学院

【出 处】

：

物理

【发表日期】

：

2008年7期

【关键词】

：

二硼化镁 超导 薄膜 制备技术 MgB2  superconductivity  thin film  fabrication technique 

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文章结合MgB2超导薄膜在电子器件中的应用,简介了混合物理化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法、分子束外延法和电子束蒸发法等MgB2超导薄膜制备方法和研究进展,并对主要的MgB2超导薄膜制备方法进行了比较,提出了改进意见.对MgB2超导薄膜的应用前景作了展望.

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