【摘 要】
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日本电气中央研究所研制出一种高灵敏度、抗温度干扰性强的硅集成压力传感器,并同时在基片上集成改进的CMOS(互补型金属氧化物半导体)型外围电路,成功地改善了压力传感器的
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日本电气中央研究所研制出一种高灵敏度、抗温度干扰性强的硅集成压力传感器,并同时在基片上集成改进的CMOS(互补型金属氧化物半导体)型外围电路,成功地改善了压力传感器的温度特性,提高了灵敏
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