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电子靶材材料的制作
电子靶材材料的制作
来源 :科技与生活 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunlang110
【摘 要】
:
在制造信息基础产品过程中,需要应用各种电子靶材,本文主要介绍了电子靶材应用,电子靶材特性要求,电子靶材制造工艺。
【作 者】
:
陈卫飞
【机 构】
:
株洲冶炼集团股份有限公司
【出 处】
:
科技与生活
【发表日期】
:
2012年19期
【关键词】
:
电子靶材
制作
溅射
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在制造信息基础产品过程中,需要应用各种电子靶材,本文主要介绍了电子靶材应用,电子靶材特性要求,电子靶材制造工艺。
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