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基片集成波导（SIW）结构是在低损耗的基片上利用金属孔构成的波导结构，具有高品质因数、大功率特性和易于集成的优点，是最近微波电路研究的热点技术。滤波器是微波毫米波电路中最常用的器件，使用SIW可以实现高性能滤波器且保持体积小的优点。
基于基片集成波导的硅微机械滤波器
【摘 要】
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基片集成波导（SIW）结构是在低损耗的基片上利用金属孔构成的波导结构，具有高品质因数、大功率特性和易于集成的优点，是最近微波电路研究的热点技术。滤波器是微波毫米波电路中最
【机 构】
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单片集成电路和模块国家级重点实验室
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2010年3期
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