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本文介绍了一种应用于电子束曝光机系统中的实时显示系统.详细描述了基于89C52单片机系统和彩色液晶显示器的电子束扫描信号数据采集系统的结构和控制过程.应用本系统不仅可以实现实时显示图形发生器产生的电子束曝光扫描图形,而且可以通过对显示图象的观察来诊断图形发生器输出的主场扫描D/A,工件台位置偏差补偿(LBC)和旋转场D/A等信号的实际工作状况.