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针对半导体集成电路行业的迅猛发展，概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况，着重阐明了当代化学技术及其产品 对硅材料制造业发展的重要作用，以及随着硅材料业向更高层次的迈进，给化学化工行业带来的挑战与机遇。
化学在半导体硅材料制造业的作用与展望
【摘 要】
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针对半导体集成电路行业的迅猛发展，概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况，着重阐明了当代化学技术及其产品 对硅材料制造业发展的重要作用，以及随着硅
【机 构】
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浙江大学海纳半导体分公司
【出 处】
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化工生产与技术
【发表日期】
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2002年6期
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