大功率硅-硅直接键合静电感应晶闸管的研制

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pgwork2011

【摘要】

：

文章提出了用硅-硅直接键合(SDB)工艺替代静电感应晶闸管(SITH)中的二次外延,有效地提高了栅阴极击穿电压,增强了通过栅极正向阻断阳极电压的能力.对键合过程中硅-硅界面进行

【作者】

：

姜岩峰黄庆安

【机构】

：

北方工业大学,东南大学

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

硅-硅直接键合静电感应晶闸管电力器件 Silicon direct bonding （SDB） Static induction thyristor （

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

文章提出了用硅-硅直接键合(SDB)工艺替代静电感应晶闸管(SITH)中的二次外延,有效地提高了栅阴极击穿电压,增强了通过栅极正向阻断阳极电压的能力.对键合过程中硅-硅界面进行了研究,提出了提高界面质量的工艺措施;同时,给出了控制栅阴极击穿电压一致性的方法.对采用此方法制成的SITH的I-V特性进行了测量,并给出了实际测试结果.

其他文献

浅析民族地区基层政府应对突发性事件的能力

我国社会发展已经进入到了国际上公认的敏感期，少数民族地区的社会矛盾日益凸显与公民权利意识日渐觉醒的双重交织，导致了越来越多的群体性事件，成为影响社会稳定的最突出的社会

期刊

少数民族地区基层政府突发性事件应对能力

低压低功耗模拟集成电路的发展

集成电路的低压低功耗设计已成为当今微电子领域研究的热点.介绍了集成电路(IC)低功耗设计问题的产生,在讨论IC的低功耗设计技术基础上,重点论述了模拟IC的低压低功耗设计问

期刊

模拟集成电路低功耗CMOS亚阈值导电衬底驱动电路Low power Low voltage CMOS Integrated circuit

探讨舒适护理在鼻内镜下鼻中隔偏曲矫正术中的应用效果

目的探究舒适护理在鼻内镜下鼻中隔偏曲矫正术中的疗效。方法针对对照组选择一般普通的护理,而观察组患者实施舒适护理干预措施。结果观察组在住院时间上要短于对照组,并发症

期刊

舒适护理住院时间并发症鼻中隔偏曲矫正

大功率硅-硅直接键合静电感应晶闸管的研制

其他学术论文