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研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能（颜色和透光性）与微观性能（结晶质量、相纯度和氢杂质含量）之间的关系，喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量（红外光谱测得）的关联性．给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据，颜色较深的膜的结晶质量差、相纯度低、氢杂质含量高，1332cm^-1金刚石特征喇曼峰强度低，半峰宽大．由于多晶膜生长不均匀性、多晶以及粗糙度的影响，生长面的微喇曼光谱随采样点变化会产生较大的偏差，而光滑生长界面的喇曼光谱随采样点的变化偏差较小，因此生长界面的喇曼光谱更能反映化学气相沉积法制备金刚石膜的