【摘 要】
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本文重点介绍电子光学、离子光学新技术对半导体材料、器件表面、薄层、微区中横向与纵向杂质定性定量的测试分析原理和方法。
This article focuses on the principles and
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本文重点介绍电子光学、离子光学新技术对半导体材料、器件表面、薄层、微区中横向与纵向杂质定性定量的测试分析原理和方法。
This article focuses on the principles and methods of electronic optics and ion optics for the qualitative and quantitative analysis of lateral and longitudinal impurities in semiconductor materials, device surfaces, thin layers, and microdomains.
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